全国新款微孔陶瓷真空吸盘设计

    （1）晶粒大小。品粒越细，晶界面积越大，产生塑性变形就越大。（2）温度。在压力恒定下，应变速率随着温度提高而增加。（3）应变速率大小。尤其在位伸变形时，较低的应变速率可获大于200%的拉伸变形，因为应变速率过大，在晶界处易形成空洞等，以致造成过早的断裂。（4）空洞大小。要保持较低的应变速率，以***空洞的生成。目前，超塑性氧化锆陶瓷主要用于发动机中活塞环，随着研究的深入，其应用前景是广阔的。氧化锆材料高温下具有导电性其晶体结构存在氧离子缺位的特性，可制成各种功能元件。 微孔真空陶瓷工作盘是各种半导体片生产过程中用于吸附及承载的**工具.全国新款微孔陶瓷真空吸盘设计

    隔热保温材料由于多孔陶瓷具有巨大的气孔率和低的基体热传导系数,其**传统的应用是作为隔热材料。传统的窑炉、高温电炉其内衬多为多孔陶瓷。为增加其隔热性能还可将内部气体抽真空。目前世界上比较好的隔热材料正是这种多孔陶瓷材料。高级的多孔陶瓷隔热材料还可用于航天飞机的外壳隔热。除此以外,由于其多孔性还可以作为换热材料用,且换热充分。多孔介质燃烧器多孔介质燃烧器有功率大、范围可调、高功率密度、极低的C0和N0x排放量、安全稳定燃烧等优点。而且很重要的一点是，多孔介质燃烧器的结构紧凑，尺寸大大减小，制造成本低，系统效率较高，消除了额外能耗。 中山本地微孔陶瓷真空吸盘价格便宜可以生产大型真空固定盘。比较大为2米(代替石盘).

种微孔真空吸盘工作台的制作方法

【技术领域】

[0001]本实用新型涉及一种微孔真空吸盘工作台，属于机械设备领域。

【背景技术】

[0002]划片刀用于精密加工，由于它的损耗速度非常快，因此需求量非常大。生产划片刀需要使用晶圆划片机，目前我国*有少数的几家工厂拥有这种设备，在生产过程中发现，现有技术的晶圆划片机的工作台寿命较短，由于其结构的不合理通常I?6个月即会变形，在生产过程中，随温度变化也会变形加快。

【实用新型内容】

[0003]本实用新型的目的在于，提供一种微孔真空吸盘工作台，它能够解决现有技术的不足，提供一种结构更合理，使用寿命更长的工作台。

组织遗传制备工艺

该工艺是利用植物材质(木材、竹子等)的天然多孔组织，将其在800~1000℃下和惰性气体环境中热解碳化得到与木材多孔结构几乎完全相同的碳预制体。然后以碳预制体为模板，1600℃时液态硅蒸发形成的硅蒸汽渗入模板与碳化合形成多孔碳化硅陶瓷。该工艺过程简单，成本低廉，但制品的孔结构主要决定于材质本身的组织，可设计性较差，同时SiC的转化率相对较低。也可将木材在真空中浸渍渗入树脂，之后在1200℃左右热解，冷却后得到一定孔隙率的木材陶瓷。

广泛应用于半导体、印刷、电子陶瓷等行业的真空吸盘设备。

    氧化铝陶瓷有较好的传导性、机械强度和耐高温性。需要注意的是需用超声波进行洗涤。氧化铝陶瓷是一种用途***的陶瓷，因为其优越的性能，在现代社会的应用已经越来越***，满足于日用和特殊性能的需要氧化铝陶瓷分为高纯型与普通型两种。普通型氧化铝陶瓷系按Al2O3含量不同分为99瓷、95瓷、90瓷、85瓷等品种，有时Al2O3含量在80%或75%者也划为普通氧化铝陶瓷系列。其中85瓷中由于常掺入部分滑石，提高了电性能与机械强度，可与钼、铌、钽等金属封接，有的用作电真空装置器件。99氧化铝瓷材料用于制作高温坩埚、耐火炉管及特殊耐磨材料，如陶瓷轴承、陶瓷密封件及水阀片等；95氧化铝瓷主要用作耐腐蚀、耐磨部件。 Fountyl加工的微孔陶瓷的主要特点.韶关正规微孔陶瓷真空吸盘价位

再经烧结而获得强度大、空隙多而小、耐腐蚀、耐高温的微孔陶瓷。全国新款微孔陶瓷真空吸盘设计

2、湿氢法

湿氢法是将Al 粉置于Al2O3中，在适当的位置放入单晶Al2O3以诱导陶瓷生长，放入管式炉内，在湿氢气氛下加热至1400℃，保持2h，湿氢**控制为-30℃。通过控制氢气**起到对其中水蒸气含量的控制，制备得到的氧化铝陶瓷。

湿氢法优点是氧化铝陶瓷以螺旋位错机理生长，产品品质较好。缺点是**不易控制，受环境湿度因素干扰大，且对实验设备影响很大。

3、模板法

目前，研究报道模板法主要是采用棉花纤维和碳纳米管为模板，制备氧化铝陶瓷。主要工艺过程是首先将棉花纤维浸入5%的AlCl3溶液中2min，80℃下干燥24 h，放入刚玉坩锅置于烘箱中分别在 800℃、1000℃和1200℃下烧制2h，即得到多晶的氧化铝陶瓷陶瓷。 全国新款微孔陶瓷真空吸盘设计

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